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1、加装在Robot传送晶圆的路径中
2、传送过程中晶圆宏观AOI检测
3、清洗、研磨等站点可大量使用
4、16K*16K分辨率，12寸晶圆单像素精度18.75um
5、 可检测Scratch，划痕、崩边、缺角、破片、水痕、残留等缺陷
加装型宏观AOI系统
OM-自动显微镜系统
OCR-字符读码模块
夹持PA-夹持晶圆预定位模块
伯努利PA-伯努利晶圆预定位模块
PA-晶圆预定位模块
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