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传片功能支持EFEM+ROBOT
全自动，CCD成像
全自动走位+自动对焦+CCD成像
数据可追溯
高精度，高稳定性
可配置多工作站点，多机台数据的汇总
实现缺陷的AOI检测
加装型宏观AOI系统
OM-自动显微镜系统
OCR-字符读码模块
夹持PA-夹持晶圆预定位模块
伯努利PA-伯努利晶圆预定位模块
PA-晶圆预定位模块
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