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1、CCD视觉定位，高精度
2、支持指令操作
3、支持232串口通讯
4、配备独立系统支持更新
5、支持加装ST-OCR100系列Wafer上下读码模块
6、设备兼容4/5/6/8/12不同规格晶圆中心和Mark点定位
7、可定位不透/半透/全透/贴膜玻璃制品和化合物制品
8、兼容SEMI标准Flat/notch晶圆
加装型宏观AOI系统
OM-自动显微镜系统
OCR-字符读码模块
夹持PA-夹持晶圆预定位模块
伯努利PA-伯努利晶圆预定位模块
PA-晶圆预定位模块
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