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1、高精度相机/镜头
2、内置模型可直接识别符合标准SEMI认证的字体WaferID
3、支持AI深度学习功能，可对非标准字体进行学习识别
4、配合ST系列PA，可进行加装，一体控制
5、内置多路通道，针对不同材质可切换不同打光效果
加装型宏观AOI系统
OM-自动显微镜系统
OCR-字符读码模块
夹持PA-夹持晶圆预定位模块
伯努利PA-伯努利晶圆预定位模块
PA-晶圆预定位模块
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